Die Einstellung des Insolvenzverfahrens mit Zustimmung der Gläubiger steht einer Beschwerde des Insolvenzverwalters gegen die Festsetzung seiner Vergütung nicht entgegen, wenn dieser vor der Verfahrenseinstellung für den streitigen Teil seiner Vergütung Sicherheit geleistet hat. Der Schätzwert der Masse wird, wenn das Verfahren durch Einstellung vorzeitig beendet ist, durch die Summe der Forderungen aller zu befriedigenden Insolvenz- und Massegläubiger begrenzt, sofern nicht der Wert der bereits erzielten Massezuflüsse höher ist.