Ein mangels Entstehung der Beitragspflicht fehlerhafter Bescheid kann durch Ausspruch der Kostenspaltung während des gerichtlichen Verfahrens geheilt werden. Die Gemeinde kann ihre Entscheidung über die Abschnittsbildung und die Zusammenfassung zu einer Erschließungseinheit noch ändern, bis die Beitragspflicht entstanden ist. Bei der zusammengefaßten Aufwandsermittlung darf der Aufwand für solche Anlagen nicht berücksichtigt werden, für die die Beitragspflicht schon entstanden ist. Eine Erschließungseinheit kann nur vor dem Entstehen der Beitragspflicht für die Einzelanlagen begründet werden. Danach entsteht die Beitragspflicht erst, wenn die Herstellungsmerkmale für alle beteiligten Anlagen erfüllt sind.