1. Eine persönliche Haftung des Insolvenzverwalters ist zu bejahen, wenn eine von ihm begründete Masseschuld wegen Massearmut in angemessener Zeit nicht erfüllt werden kann. Auf die Möglichkeit der Wiedergutmachung in ungewisser Zeit muss sich ein Gläubiger nicht vertrösten lassen. Der in Haftung genommene Verwalter ist dem Gläubiger zum Ersatz des Schadens verpflichtet, der durch die nicht vollständige Erfüllung der gegen die Masse bestehenden Forderungen eingetreten ist. 2. Bei Vorliegen des objektiven Tatbestandes einer Haftung des Insolvenzverwalters nach § 61 InsO wird dessen Verschulden vermutet. Der Insolvenzverwalter ist verpflichtet, ständig zu überprüfen, ob die Masse voraussichtlich ausreicht, die Masseverbindlichkeiten erfüllen zu können. Masseverbindlichkeiten dürfen von ihm nur begründet werden, wenn vorauszusehen ist, dass ihnen eine zur Befriedigung ausreichende Masse gegenüberstehen wird. 3. Die Darlegung, dass auf der Grundlage einer sorgfältigen Finanzplanung der Eintritt der Massearmut nicht vorhersehbar war, ist im Rahmen der Haftung nach § 61 InsO Sache des Verwalters. Bereits das Ausbleiben einer Finanzplanung rechtfertigt es, die Entlastung des Verwalters nach § 61 Satz 2 InsO zu verneinen.