Die Verzögerungsrüge stellt keine bloße Sachurteilsvoraussetzung dar, sondern gehört zu den materiellen Voraussetzungen eines Anspruchs auf Geldentschädigung. In welcher Frist eine Verzögerungsrüge noch unverzüglich erhoben worden ist, ist zunächst unterschiedlich beantwortet worden. Teilweise ist im Hinblick auf die zu § 121 Bürgerliches Gesetzbuch (BGB) ergangene zivilrechtliche Rechtsprechung eine Zweiwochenfrist vorgeschlagen worden. Teilweise ist in der Rechtsprechung auf eine Monatsfrist abgestellt worden. Gerichtsbarkeitsübergreifend hat sich in der höchstrichterlichen Rechtsprechung aber die Ansicht herausgebildet, dass eine Verzögerungsrüge noch unverzüglich im Sinne des Art. 23 Satz 2 ÜGRG erhoben ist, wenn sie spätestens drei Monate nach Inkrafttreten dieses Gesetzes eingegangen ist.